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直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。我們國家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展，這項(xiàng)技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來的，現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認(rèn)可，在我們國家，這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā)，相信在不久的未來，我們國家的相關(guān)科研人員一定會(huì)在這個(gè)領(lǐng)域取得讓人滿意的成績，為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻(xiàn)。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"

潔凈車間技術(shù)的興起，使電子、食品、精細(xì)化產(chǎn)業(yè)的凈化車間技術(shù)，得到了進(jìn)一步的提升。靜態(tài)潔凈室：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。在潔凈車間技術(shù)發(fā)展中，它與許多行業(yè)和學(xué)科密不可分，具有自己的特點(diǎn)。我們必須學(xué)習(xí)和吸收各行業(yè)、各學(xué)科的成就、經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)勢。善于根據(jù)自身特點(diǎn)，充分發(fā)揮和積極調(diào)動(dòng)各領(lǐng)域的科技人員。

潔凈度測定應(yīng)包括懸浮粒子和微生物的測定。醫(yī)行業(yè)對于空氣潔凈系統(tǒng)的要求相當(dāng)嚴(yán)格，包括進(jìn)風(fēng)、空氣處理、送風(fēng)、排風(fēng)等環(huán)節(jié)，因此，空氣潔凈系統(tǒng)必須周期性檢測其質(zhì)量特性。 潔凈廠房工程除了常規(guī)電、水、通風(fēng)外，還有空調(diào)設(shè)備、凈化設(shè)備、工藝管道、照明等。在建造開始時(shí)，潔凈廠房工程地址的挑選應(yīng)合乎有益生產(chǎn)制造、便捷衣食住行、節(jié)約項(xiàng)目投資和運(yùn)營花費(fèi)的標(biāo)準(zhǔn)。在十萬級空氣凈化處理中，也可采用亞空氣過濾器，進(jìn)而代替空氣過濾器。